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    設備簡介:

    廠商:AST(聚昌科技)

    型號:Peva-600E

     

    技術指標:

    1.一次工藝可以蒸發四種不同金屬材料;Ti/Al/Ti、Ni/Au、CrPtAu等,Au最后可做到3um;

    2.蒸鍍溫度在室溫到100℃之間可調;

    3.Lift-off工藝一次可以蒸鍍1082"圓片;

    4.Step-coverage工藝一次可以蒸鍍672"圓片;

    5.工藝的均勻性和重復性±5.

     

    工藝特點:

    1. 因應功率IC(Ti/Ni/Ag)及ⅢⅤ族砷化鎵晶圓各種Lift-Off製程需求(Ti、Au、Al、Ni、Cr、AuGe等),將Throw Distance拉高至>26~32;

    2.Run to Run膜厚均勻性可控制至<±1%,以確保整體產品良率;

    3.最佳化蒸鍍腔及排氣系統設計,可有效降低Cycle time,并提升材料利用率(提高20%) 

     

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