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            設備簡介:

            廠商:坤杰精密自動化設備有限公司

            型號: 310 M

             

            技術指標:

            1.18個工作槽位,配備氮氣及純水清洗系統;

            2.可進行常規有機、無機清潔處理;ITO薄膜濕法蝕刻;去蠟清洗;lift-off 工藝;

            濕法腐蝕氧化硅等工藝。

             

            工藝特點:

            1.小批量多片處理、水浴加熱清洗、超聲清洗;

            2.DI水沖洗為噴淋,溢注兩種模式自由組合;

            3.半自動機械手臂進行上下往復晃動,反應更均勻

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