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    設備簡介:

    廠商:德國PVA-TePla-AG

    型號: 310 M

     

    技術指標:

    1.等離子體室:石英,直徑245mm,深380mm;
    2.
    等離子體發生器:微波頻率2.45GHz,最大1.000瓦,可變功率

     

    工藝特點:

    1.微波等離子體廉價、易于使用、高度活性、高效,且不會對電子裝置產生

    損害,該系統配備潔凈的石英晶體處理室;

    2.可以進行普通光刻膠灰化、SU8灰化;

    3.適合于光刻膠顯影底膜的去除。

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